Mapy ramanowskie umożliwiają określenie stopnia jednorodności badanej próbki oraz analizę składu chemicznego na podstawie rozmieszczenia poszczególnych składników w próbce.
Charakterystyka analizy:
Mierzony zakres spektralny: 150 - 3200 cm-1
Możliwość porównania względem intensywności w danym punkcie, względem całego widma itp.
Rozdzielczość analizy (krok): 0,1 µm
Szerokie pole badanej powierzchni
Przykłady analiz:
Zdjęcie fragmentu chipa typu EPROM wykonane kamerą CCD w powiększeniu 1000 x
Mapa ramanowska tego samego fragmentu. Krzem oznaczony jest kolorem zielonym.
3. Profilowanie warstwowe
Profile warstwowe to zbiór widm spektralnych otrzymanych z różnych głębokości badanej próbki.
Charakterystyka analizy:
Mierzony zakres spektralny: 150 - 3200 cm -1
Maksymalna głębokość wnikania: 300 µm
Rozdzielczość analizy (krok): 0,1 µm
Analiza jest przeznaczona dla próbek przezroczystych i półprzezroczystych
Przykład analizy:
Próbka wielowarstwowa. Kolorami oznaczono kolejne warstwy.
Widma ramanowskie uzyskane z różnych głębokości próbki. Kolorami oznaczono kolejne warstwy
Profil warstwowy 3D
4. Obrazowanie ramanowskie
Obrazowanie ramanowskie umożliwia szybkie uzyskanie obrazu badanej próbki w świetle Ramana bez konieczności wykonywania czasochłonnych map spektralnych. Długości fali obserwowanej wybieramy z zakresu spektralnego na podstawie uzyskanego wcześniej widma.
Charakterystyka analizy:
Długości fali obserwowanej wybierana jest z przedziału: 150 - 3200 cm-1
Przykład analizy
Obraz fragmentu chipa typu EPROM widziany w świetle Ramana. Kolorem zielonym oznaczono krzem (520 cm-1), kolorem czarnym metaliczne ścieżki przewodzące.
